Встраиваемые системы монохроматического контроля серии AKRA предназначены для измерения характеристик оптических покрытий по спектрам пропускания и/или отражения в процессе нанесения тонкопленочных покрытий непосредственно в вакуумной установке.
Основу системы составляет монохроматор M250 собственной разработки, электронная система управления дифракционными решетками и приводами, а также программное обеспечение AkraSoft для визуализации измерительного процесса на экране оператора. Различные исполнения системы контроля AKRA позволяют вести контроль от 200 нм в УФ диапазоне до 5000 нм в ИК диапазоне.
Конструктивные достоинства:
Система позволяет автоматически выбирать и устанавливать требуемую длину волны, вести контроль в реальном времени и прописывать получившийся спектр после каждого напыленного слоя. Такая конфигурация дает возможность не только контролировать ход процесса, но и сопоставлять расчетные промежуточные спектры с фактическими.
Приборы серий AKRA являются недорогим, надежным и удобным инструментом при решении задач по получению высококачественных оптических покрытий. Применение систем обеспечивает изготовление покрытий самых сложных спектральных характеристик, существенное снижение брака в покрытиях и более высокий коэффициент выхода годных процессов. Ключевые достоинства и преимущества:
Применение встраиваемых систем монохроматического контроля серии AKRA обеспечивает повышение качественных показателей сложных многослойных оптических покрытий в самом широком диапазоне контроля. Для операторов, имеющих опыт эксплуатации стандартных систем оптического контроля на базе монохроматора (СФКТ, OMS 2000 и т.д.), переход и адаптация к новой системе будет простой и быстрой, т.к. в системе AKRA также применен монохроматор в качестве устройства выделения участков спектра.
Точное отображение на экране изменяемой величины пропускания или отражения в режиме реального времени, а также возможность сканировать весь спектр после напыления каждого слоя существенно повышает выход годных деталей и фактически сводит к минимуму необходимость в проведении тестовых процессов.
В результате применения систем AKRA сокращается доля процессов с ошибками, снижаются затраты на разработку новых покрытий, возрастает повторяемость проведения технологических процессов.
Система спектрального контроля IRIS
Встраиваемые системы спектрального оптического контроля серии IRIS являются самым современным решением для контроля процессов вакуумного нанесения оптических покрытий. Системы IRIS предназначены для контроля покрытий по спектрам пропускания и/или отражения, а также позволяют осуществлять послойную корректировку покрытия.