Система монохроматического контроля AKRA

Встраиваемые системы монохроматического контроля серии AKRA предназначены для измерения характеристик оптических покрытий по спектрам пропускания и/или отражения в процессе нанесения тонкопленочных покрытий непосредственно в вакуумной установке.

Основу системы составляет монохроматор M250 собственной разработки, электронная система управления дифракционными решетками и приводами, а также программное обеспечение AkraSoft для визуализации измерительного процесса на экране оператора. Различные исполнения системы контроля AKRA позволяют вести контроль от 200 нм в УФ диапазоне до 5000 нм в ИК диапазоне. 

Конструктивные достоинства:

 

 

Система позволяет автоматически выбирать и устанавливать требуемую длину волны, вести контроль в реальном времени и прописывать получившийся спектр после каждого напыленного слоя. Такая конфигурация дает возможность не только контролировать ход процесса, но и сопоставлять расчетные промежуточные спектры с фактическими.

 

Приборы серий AKRA являются недорогим, надежным и удобным инструментом при решении задач по получению высококачественных оптических покрытий. Применение систем обеспечивает изготовление покрытий самых сложных спектральных характеристик, существенное снижение брака в покрытиях и более высокий коэффициент выхода годных процессов. Ключевые достоинства и преимущества:

Применение встраиваемых систем монохроматического контроля серии AKRA обеспечивает повышение качественных показателей сложных многослойных оптических покрытий в самом широком диапазоне контроля. Для операторов, имеющих опыт эксплуатации стандартных систем оптического контроля на базе монохроматора (СФКТ, OMS 2000 и т.д.), переход и адаптация к новой системе будет простой и быстрой, т.к. в системе AKRA также применен монохроматор в качестве устройства выделения участков спектра.

Точное отображение на экране изменяемой величины пропускания или отражения в режиме реального времени, а также возможность сканировать весь спектр после напыления каждого слоя существенно повышает выход годных деталей и фактически сводит к минимуму необходимость в проведении тестовых процессов.

В результате применения систем AKRA сокращается доля процессов с ошибками, снижаются затраты на разработку новых покрытий, возрастает повторяемость проведения технологических процессов.