Сістэмы манахраматычнага кантролю AKRA

Убудаваныя сістэмы манахраматычнага кантролю серыі AKRA кампаніі ЭссэнтОптыкс прызначаны для вымярэння характарыстык аптычных пакрыццяў па спектрах прапускання і/альбо адлюстравання ў працэсе іх нанясення непасрэдна ў вакуумнай устаноўцы. Аснову сістэмы складае монахраматар М250 арыгінальнай распрацоўкі, электронная сістэма кіравання дыфракцыйнымі рашоткамі і прывадамі, а таксама праграмнае забеспячэнне для вымярэння аптычных паказчыкаў і візуалізацыі вымяральнага працэсу на экране дысплея.

Сумесная праца з праграмай МульціСпектр для спынення працэса напылення па дасягненню патрабуемага значэння

Не патрабуе дапрацовак у вакуумнай устаноўцы

Сканаванне усяго спектральнага дыяпазону па заканчэнні кожнага слою, працуючы ў рэжыме спектрафатометра

Дыяпазон прамога кантролю да 5 мкм, па другім парадкам - да 15 мкм

Рабочыя дыяпазоны вымярэнняў розныя: 200-1100 нм, 200-1700 нм, 380-1100 нм, 380-1700 нм, 380-2600 нм, 1,5-5 мкм. Сістэмы кантролю пастаўляюцца з абраным дыяпазонам у залежнасці ад патрабаванняў Заказчыка і ад аптычных задач, якія вырашаюцца. Вымяральны комплекс серыі AKRA дазваляе весці дакладны кантроль росту слоя ў працэсе напылення па любой адной выбранай даўжыні хвалі ўстаноўленага спектральнага дыяпазону, а таксама ажыццяўляць сканаванне ўсяго спектральнага дыяпазону па заканчэнні кожнага слоя. Дадаткова ў праграму працы сістэмы можна загружаць разліковыя крывыя кожнага слоя (з праграм OptiLayer, Multilayer, TFCalc і г. д.) для супастаўлення разліковых і фактычных значэнняў. Гэта дазваляе аператару прыпыняць працэс напылення адразу па дасягненні патрэбнага значэння.

Канструкцыя сістэм аднахвалевага аптычнага кантролю серыі AKRA не патрабуе дапрацовак у вакуумнай устаноўцы, у камплект пастаўкі ўваходзяць усе неабходныя пераходныя фланцы і мантажныя элементы, якія распрацоўваюцца для большасці эксплуатаваных установак (ВУ, УВН, Leybold, Balzers і г.д.), а таксама для новых вакуумных установак.

Прымяненне сістэмы AKRA кампаніі ЭссэнтОптыкс забяспечвае павышэнне якасных паказчыкаў складаных шматслойных аптычных пакрыццяў у самым шырокім дыяпазоне кантролю. Адна з важных дадатковых вартасцяў сістэмы AKRA - змяншэнне аб'ёму ручной працы аператараў вакуумных установак. Да таго ж для аператараў, якія маюць вопыт эксплуатацыі існуючых сістэм аптычнага кантролю на базе монахраматара (СФКТ, OMS 2000 і г. д.), пераход і адаптацыя да новай аптычнай сістэмы кантролю будуць простымі і хуткімі, бо ў сістэме AKRA таксама ўжыты монахраматар як прылада выдзялення ўчасткаў спектра.

Дакладнае адлюстраванне на экране змяняемай велічыні прапускання або адлюстравання ў рэжыме рэальнага часу, а таксама магчымасць сканаваць увесь спектр пасля напылення кожнага слоя істотна павышае выхад якасных пакрыццяў і фактычна зводзіць да мінімуму неабходнасць праводзіць шматлікія тэставыя працэсы. У выніку прымянення сістэм AKRA дзякуючы дакладнаму кантролю скарачаецца вялікая частка працэсаў з памылкамі, зніжаюцца выдаткі на распрацоўку новых пакрыццяў, узрастае паўтаральнасць правядзення якасных тэхналагічных працэсаў.

Прыборы серый AKRA ад кампаніі ЭссэнтОптыкс з'яўляюцца недарагім, надзейным і зручным інструментам пры вырашэнні задач па атрыманні высакаякасных аптычных пакрыццяў. Прапанаваныя сістэмы спалучаюць важныя вартасці і перавагі.

Для Вашага прадпрыемства:

• Падаўжэнне тэрміну эксплуатацыі наяўнага парку вакуумнага абсталявання, з пашырэннем магчымасцяў яго прымянення па вытворчасці сучасных аптычных пакрыццяў
• Істотнае зніжэнне матэрыяльных выдаткаў і часу на адпрацоўку новых вакуумных працэсаў і пакрыццяў
• Высокі каэфіцыент выхаду якасных працэсаў, высокая паўтаральнасць працэсаў.
• Пацьверджаны паспяховы вопыт прамысловай эксплуатацыі распрацаваных нашымі спецыялістамі сістэм аптычнага кантролю, пачынаючы з 2004 года.
• Хуткі ўвод сістэм у эксплуатацыю - увесь мантаж, запуск, наладка і навучанне займаюць не больш як 1-2 дні
• Хуткі тэрмін вытворчасці і пастаўкі - звычайна не больш за 100 дзён
• Гарантыя 2 гады з даты ўводу ў эксплуатацыю. Поўная сэрвісная падтрымка, кансультацыі, рэкамендацыі, мадэрнізацыя сістэм і пашырэнне спектральнага дыяпазону пры далейшай эксплуатацыі.

Для Вашых тэхнолагаў і аператараў установак:

• Назіранне за ростам аптычнага пакрыцця ў рэальным маштабе часу
• Павышаная дакладнасць і стабільнасць вымярэнняў за кошт прымянення мадуляцыі крыніцы выпраменьвання 
• Карэкцыя пакрыцця ў працэсе напылення дзякуючы паслойным назіранням
• Захаванне дадзеных аб пакрыцці і працэсе ў архіўных файлах для наступнага аналізу і паўтору паспяховых працэсаў
• Высокі ўзровень паўтарэння аптычных характарыстык
• Мінімальная колькасць рухомых дэталяў у вымяральных сістэмах, высокая надзейнасць канструкцыі
• Зручны інтэрфейс, які дазваляе аператару і тэхнолагу атрымліваць дакладную і неабходную інфармацыю

Для Вашых заказчыкаў:

• Магчымасць вырабу і атрымання пакрыццяў самых складаных спектральных характарыстык 
• Істотнае зніжэнне дэфектных пакрыццяў
• Скарачэнне тэрмінаў і выдаткаў на сумесную распрацоўку і тэставанне новых пакрыццяў

Сістэмы аднахвалевага кантролю серыі AKRA кампаніі ЭссэнтОптыкс (на базе монахраматара).

Тэхнічныя характарыстыкі (матэрыялы на рускай мове)